墨正
墨正(版图修正软件)
- 版图修正的技术方法主要包括：基于规则的邻近修正技术（RB_OPC）、基于模型的邻近修正技术(MB_OPC)。RB_OPC提供规则数据库，可快速实现版图的修正，对于复杂的版图设计。MB_OPC提供精确的版图修正，对软件计算能力需求较高，被用于先进工艺节点的版图修正。本公司提供MB_OPC工具。
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版图文件处理流程
- 版图修正工具开发过程包括：对掩模版图形按照设计标准修改，通过计算光刻模型获得设计版图上的光强分布，以期达到修正后版图的曝光结果接近设计的目的。目前修正脚本通常将整个版图切分为多个小的窗口tile，依次对所有的tile进行修正，将修正完的tile重新组成一个完整的GDS版图文件，即修正后的版图文件。
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Maskit切割工具
- 本公司提供Maskit工具，就是把GDS文件切割成n个的tile块，最后再把这n个tile块拼接成修正后的GDS文件。
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修正方法
- 多边形的线段切割方法，描述多边形边的线段，被切割成更小的线段，通过对该线段移动，改变光强仿真轮廓。
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功能函数
- 本公司提供的版图修正工具，已实现如下的函数功能，并完成的测试。
